支持购买EDA设计工具软件的集成电路设计企业；支持购买IP开展高端芯片研发的企业；支持购买高端IC工程测试验证及产品分析相关软件、仪器、设备等的企业；；资助金额最高为200万元。

鼓励企业向区内高校院所、科研机构建设的创新支撑平台采购平台服务，按实际采购费用的30%给予资助，每家企业每年资助金额最高为20万元。

支持2020年第一季度产值同比下降，但2020年全年在光明区产值、税收贡献均实现同比正增长的规模以上工业企业。2020年第一季度营业收入同比下降，但2020年全年在光明区营业收入、税收贡献均实现同比正增长的规模以上服务业、限额以上批发零售业和住宿餐饮业企业。最高资助200万元。

项目支持高校、科研机构资助项目；职务科技成果完成人资助项目；科技成果受让企业资助项目。最高资助200万元。

项目包括生命科学产业创业资助项目；新材料和智能产业配套资助项目；新材料产业购买或融资租赁仪器设备资助项目。最高资助500万元。

支持上一年度销售收入在2亿元(含)以下的光明区科技型中小企业，在2020年1月1日之后获得经光明区科技创新局备案的投融资机构投资，可按实际投资额的最高30%给予补贴，资助总额不超过300万元。

对2020年度促成不少于3项科技成果在区内转化的科技服务平台类企业或者机构，按技术合同中实际发生技术交易额的4%给予资助，每家企业或机构每年资助总额最高为300万元。

对在生命科学、新材料、智能等产业领域搭建的产业级通用型重大公共技术服务平台，按平台获市级资助的30%给予配套资助，资助总额最高为500万元。

直接奖励方式。对新认定的区级科技企业孵化器，给予运营主体一次性20万元资助。

对生命科学领域提供检测、分析、测试、生物资源与实验等服务的企业或机构，按上一自然年度新增仪器设备投资的30%给予资助，每家年度资助金额最高为300万元。