重点支持获得国家最高科学技术奖、自然科学奖、技术发明奖以及广东省科学技术奖突出贡献奖、自然科学奖、技术发明奖、科技进步奖的单位，与光明科学城大科学装置相关的重大科技基础设施关键技术和设备、重大装备及关键零部件研发与应用等科技成果产业化项目的企业。最高资助200万元。

重点支持新认定的国家、省、市新型研发机构、科技创新平台、科技服务机构，政府投资项目除外。给予企业最高1,000万元资助。

重点支持获得市级扶持计划资助的制造业公共技术服务平台、获批国家制造业创新中心的单位。最高100万元资助。

重点支持入驻光明区留学人员创业园的在孵企业。给予最高50万元的项目启动资助。

为充分发挥知识产权优势企业的示范推广作用,促进新区自主创新成果向知识产权转化,推动新区知识产权事业全面发展,光明区知识产权优势企业认定由光明新区知识产权工作领导小组办公室协调有关专家组成项目评审组每年评审一次，每次不超过3家，并颁发光明区知识产权优势企业牌匾。

对新认定的国家、省、市级科技企业孵化器，根据其运营投入、服务能力、入孵团队等情况进行评分分档，分三年按档次分别给予运营主体最高300万元、200万元、100万元资助。

对新认定或新迁入新区的列入国家、省、市智能制造试点示范项目的，分别给予一次性300万元、200万元、100万元的奖励。

对经我市有关部门新认定或新迁入新区的无人工厂、数字车间等应用示范项目，给予市级资助50%、不超过300万元的补贴。对经市有关部门认定为重大工业(技术改造)项目的，给予市级资助50%、最高500万配套资助。

重点支持院士工作站、博士后科研工作站、博士后创新实践基地等载体。给予50万元、30万元、20万元的一次性建设资助。

光明新区“卓越绩效推广工程”试点实施的目的是提升新区企事业单位质量管理水平，助推光明新区产业转型升级。试点单位经标准学习、内部培训、导入运行并经专家评审验收合格后，将予以奖励并颁发证书。