坪山区工业和信息化局与坪山区科技创新局协同审核坪山区集成电路第三代半导体专项资金，申报项目分10个政策类项目、1个认定类项目、1个备案类项目，最高资助金额为2000万元。

支持产业发展招商引资类、提升产业发展质量类、激发企业发展活力类、完善产业服务配套类、支持重点产业发展类、创新型产业用房管理类、促进社区集体经济产业转型类。对符合条件的企业给予最高不超过5000万元的资助。

第三代半导体专项资金申报项目分10个政策类项目、1个认定类项目、1个备案类项目，最高资助金额为100万元。